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注意:1。在最佳垂直焦点的位置测量。系统与交付的下限对齐。水平梁大小可以调整为上限。SYS TEM以减少或扩展水平焦点宽度。请参阅操作员的手册。2。从物镜组件的机械表面(输出端)测量。3。从标称梁轴测量。使用倾斜/偏航调整调整细胞内部,同时满足所有光学规格。4。假设距CellX输出面不到200 mm(光路径长度)内的物镜组件。5。使用望远镜调整CellX内部调整,同时满足所有光学规格。

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